而且当年瑞星科技公司刚开始研发双工件台系统的时候也是通过外交渠道邀请过霓🗱虹国康尼株式会社的社长来华兴科技集团公司这边访问，当时这位社长还当着何玉光等人的面说过这么一句话：“光刻机光学系统虽然很难，我相信你们能够研制出来，但工件台你们恐怕是拿不下来的，因为这个系统太复杂了。”
而🈥且康尼精机方面也是不愿意向瑞星科技公司公司提供零部件的，更愿意卖整机。
后来瑞星科技公司也是靠着华兴科技集团公司和杨杰的关系网得到了各种技术专利和人才资源，一边紧盯着海外光刻机的技术动向一边自己埋头苦干，一开始搞出来的光刻机确实是整体性能不怎么样，但是中晶微和华越电子集团和华晶都是批量购买，而瑞星科技公司公司也是直接派出技术人员守在晶圆厂随时解决问题和收集各种数据🙍，逐步地让自己的产品设备改进完善。
瑞星科技公司刚开始的时候并不追求光刻机在所有方面性能卓越，强调的是可靠稳定，一开始的时候得不到氟化氪和氟化氩这些激光光源就用技术已经非常成🔩🃕熟的汞灯光源设备结合浸入式光刻技术开始起步。
当年瑞星科技公司公司全力攻克的是👙🆔沉浸🂩👡式光刻机的浸液系统，并在这个系统上面掌握了大量的技术专利，这个也成了瑞星科技公司杀手锏一般的武器。
而瑞星科技公☰🃆司在这个基础上也是不断地在其他关键系统上进行研发，尤其是在双工件台系统上进步非常快，这个也是得益于华兴科技集团公司自己本身在超精密数控机床技术上进展非常快，不仅做出了满足90纳米光刻需要的工件台，针对28至65纳米光刻配套的双工件台也也是搞了出来，现在连28纳米到10纳米光刻机配套的双工件台也是研制出来，并且进行了大量的测试验证。
经过这么几轮产品的技术👚迭代，瑞星科技公司公司的光刻机🐼🅊🄻其实在05年到07年间推出的产品整体性能就全面上🝇🉂🄞来了。
尤其是这几年华兴科技集团公司的众多的技🞨🖧🕄术成果开始涌现，再次将瑞星科技公司的产品技术推到了一个更高的高度。
瑞星科技公司公司🝏现在光刻机产品线也是十分丰富，低端的产品主要还是以i线光刻光源为主，用来加工非关键性和比较大的电路结构，也能为45纳米量产提供🀼精确的套刻，主要用来加工存储芯片、图像传感器、微机械芯片等大量芯片。
中高端光刻机产品主要是以氟化氪和👙🆔氟化氩光源设备为主，这些设备主要是用来用来制造最小和中等尺寸的芯片电路结构，这种更短⛭🝬的波长🜸能刻印40以下的纳米电路结构。
一般而言，芯片的掩模层数最多达3👙🆔0或40层，因此中晶微在内的这🏞些芯🖍片制造商生产芯片时，通常会同时用到这三种设备。
氟化氪和氟化氩光源是瑞星科技公司向科学院光电研究院进行订购的，双方之间的合作很早就开始了，到现在科学院光电研究院已经能够批量生♉产🙀🗤高性能的这两种光源💂。
而在极紫外光光源上瑞星科技公司还是自行研制设计为主，到现在也是终于将这套光源😍⛫🝚给搞定了。
瑞星科技公司公司在国内挑选产品子系统供应商主要还是以国内的🛸♟这些🏞科研研所和高校的课题实验室为主，甚至主动地向这些科研院所提供设备和资金的支持来进行扶持。
因为杨杰本人在科技界有着雄厚的人脉资本，再加上罗秉桓和李开元以及李力持和薛岳东等中央首长的支持🐙，这些项目也是推动很快，差不多用了六七年时间就完全弄出了一套完整的产业链。
等到🜗🂓🎖国外的这些半导体设备产商回过神🇱🜕来的时候瑞星科技公司已经是成了气候，进🗱入了光刻机市场领域的第二梯队，能够自行设计研制生产出光刻机，也是跟艾斯摩尔和康尼和农佳集团公司在这个细分市场展开了长达六年多的混战。
因为瑞星科技公司公司在沉浸式光刻机这个领域非常具有技术优🈤势，到现在为止基本上是将霓虹国国内的两家生产光刻机的公司在这一块的业务给打残了。
当年瑞星科技公司公司在推出第一代👙🆔的光刻机后，海外众多的供应商就默契地进行了关键元器件的禁🍇🅻运，不过杨杰早就让公司开始就存了很多库存，而且也是很早就开始了国产化替代。
瑞星科技公司公司🝏国产化的低端光刻机迅速地投入到技术含量较低的后道封装和液晶面板刻蚀等领域，在这🐙些领域霸占了国内绝大部分的市场。
虽然在ic制造领域的光刻机瑞星科技公司整体性能不是很好，但是也能用，因为华兴科👀🅬技集团公司跟国内的几大晶圆厂是绑在一起的，海外这些半导体产商要想进来基本上🕑🈸都是要华兴科技集团公司同意的。
杨🈥杰也是逼着这些半导体设备产商向瑞星科技公司提供零部件，当然这些零部件还🗱是由瑞星科技公司公司自主设计研发，也是保证了瑞星科技公司公司中高端光刻机设备上自始至终始终保有一定的市场份额🝙🛒。
现在瑞星科技终于是攻克了极紫外光刻机，并且投入了实用化，率先进入了光刻机的第一梯队，而🎑🐕⛑且目前也只有瑞星科技公司这么一家公司能够自主地生产出来。🀼
何玉光哪里会肯让康尼精机这边来共👙🆔享公司这种最高端光刻机的技术。