这时,梁宋松也半蹲了下来,目光一直盯着主体系统的接驳机构。他想找出故障的原因,证明🝗😏自己的猜想没有错。
“我们这台光刻机的接驳⛲🞘🔟机🕧构是测绘以后的仿制,没有原始图纸,精度没保障。所以说,就是个接驳机构出了问题。”仔细观察了半天,梁宋松果断的下🔱结论,认为还是光刻机主体系统出了故障。
他这套理论🖮🖁倒是有点道理,🕧可跟两套系统组合以后的质量缺陷有啥联系?
故此,万宁古根本不同意梁宋松的意见,“激光光路系统🝞和光刻机主体系统是刚性连接,跟这套接驳机构有啥关系?”
刚性连接只要保证连接机构的稳定就行,不会对两套机构的性能稳定性造成影响。再说了,这套接驳机构使用液压锁定方式来确保稳定性,根本不🅣🈖♿会影响光刻机两套系统的稳定性。
万宁古对光刻机的结构非常熟悉,一下子就排除了梁宋松的论断。按照他的🞯🗩设想,🛊众人不要在这套接驳机构的稳定性上做深层挖掘。
这🈞⛆😆时,眉头紧锁的许振鸣稍稍一抬眉,瞥了一眼身旁的万宁古。“老万,光刻机🗌的震动量、电磁杂波干扰等方面,会不会影响到光刻机的稳定性?”
“嗯…肯定会有影响的。要不然,光刻机的工作🃖🗲环境要求非常高,🍘基础要有防震动设施,现场电磁杂波要做屏蔽🚈措施。”
万宁古皱着眉头说道,心里还在考虑着其他的影响因素。在他看来,这次检测要麻烦许多了,要把光刻机主体系统的组件一🟒🜥🄓一拆开,分开检查测试才行。
而这时,站在不🀱🀩远处的郝宁教授忽然一拍大腿,“我知道是什么原因了,应该是震动波的共振造成的,或者是电磁杂波频率跟激光波的频率有互相干扰。”
郝宁教授是光学专家,在光波学、电磁波学等专业领域是权威人士。他经过许振鸣一提醒,瞬🝗😏间来了灵感,说出一个让许振鸣🕃🔶感到高深莫测的观点。
光波和电磁波的粒子、波两种形态,许振鸣在自学高中物🝞理的时候有所涉及,可已经早就忘得差不多。而郝宁教授的观点又涉及到量子物理的理论,他哪能搞得懂?
不但许振鸣搞不懂,现场的万💮🕌🈑宁古和梁宋松两位专家级人物也只能说略懂皮毛。专家都在自己的领域里称雄,出了领域跟平常人的差距不是那么大的。
故此,万宁古激动的站起身来,盯着郝宁🞔📹教授大声问道:“郝教授,你🕴🍷🌮说说看,这台光刻机的缺陷到底是怎么回事?”🄥⛏
“有🇽🝿这种可能么?”梁🄫宋⛲🞘🔟松此时也半信半疑的站起身来,狐疑目光一直落在郝宁教授的脸上。
郝宁教授此次此刻非常激动,连连点头,“一定是这个问题。还是许董的眼光比较准,一下就能找到这台光刻机🚈的缺陷所在。”一边说话,他一边拿出笔记本,把今天的灵感记录下来。
做好这些,他朝众人大笑着说:“我们大家都知道共振的原理。这台光刻机主体系统的震动波若是跟激光光路系统的震动波频🕃🔶率一致,就会产生共振现象。倘若这台光刻机主体系统的电磁💃🏈😅杂波频率跟激光的频率一致……”
“🈞⛆😆激光也会产生共振现象!”这时,在场🞔📹的所有人都😯异口同声的说道。
在场的众人都技术员,普通物理知识还是知道一些的😯。他们这些人,也🕴🍷🌮包括许振鸣都瞬间听懂了郝宁教授的理😓🀹🁰论。
“既然这样,咱们还愣着干啥,开始干活吧!🆟”许振鸣现在的心情很不错,🞯🗩笑嘻嘻的朝大伙儿扫了一眼。
“哈哈…原来是波的问题!”
“🈞⛆😆就是不🚻😤知道是哪套系🄫统的波有问题?还是电磁杂波有问题?”
技术员们开着玩🀱🀩笑,开始拆卸接在主体系统上的传感器。