“许董,按照目前的情况来看,我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握,并没有把情况说死。他还是有🐨🏃点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理和照相机的原理基本一样⛽,都是用曝光来成像。但第三代光🔕🀞刻机的精度非常高,最低可达到0018微米。倘若再使用ffet制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要达到001微米以下。
由此可以想到,第💣📬三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高,一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。🜈⛷
胡明镇一边说话,一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要,能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性,胡明镇不得不小心行🙾🐀☜事。
“装配工作什么时间能完成?”
看到李⚼🖳全等人的进度🕓不是很快,许振鸣认为站在这里没啥意思,准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前,他向胡明镇要了一份这台光👰🌜刻机装配和调试的工程进度表。
“许董,如果一切顺利,我们会在元月28日左右开始🈶🂲💪试生产,并且用这🔕🀞台光刻机来流片。”胡明镇比较忙,跟许振🏈鸣说了几句,又开始投入工作。
许振鸣见此,拿着一摞用a4纸打印🕟的⛽资料,一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。
“三天内完成设备💣📬组装和安装,五天内调♐试好这台设备,第九天以后开始做试生产的准备嗯,这个计划还算可以。”🏈
许振鸣一边走路一边颔首点头,认🂲💯为胡明镇的工🈕♷作做得不错,准备很充分🔕🀞。
不多久,他来到4号钢构厂房的另外一个光刻🌴🃔室🈕♷。
这间🄔☻光刻室是用来安装国产光刻🜙机的生产车间。
车间里此时也非常忙碌🈷🃁🈷🃁,万宁古、何昌林和郝宁🈕♷等人也正在装配第三代光刻机。
他⚰🕂们这边的进度好像要快了许多,激光光路系统的部件已经组装完成,光刻机的主体系😷统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会,好像要准备进行光刻机的总装工序。
看到这种情况,许振鸣倒是不理解,“老万,你们🔺🅮这边的进度为啥要快一些?”
“许董,这台光刻机的主要部件我们都已经🙶准备好,就等着总🐗装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货,其实根本不要检验其性能。最关键的事🍰🝕情就看光刻机总装以后的效果。
“光刻机的精度主要是受主体系统、底座、横移、减震等子🆋🍾🍫系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够,我们的项目还是没成功。”
说到最后,万宁古的眉毛全都皱了起来。他对🌴🃔这台光刻机主体系统的精度很担心,心🍓🇭🛴里没有十足的把握。
听到这话,许振鸣的心情🝿🐽也好不起来。“你们需要多长时间来准备?”念及此,许💞💺振鸣想要知道万宁古等人的总装和调试计划。
“三天左右吧。”何昌林扫🏍😱了一眼现场的情🙶况,缓缓说道。
“三天恐怕不行,最少要五天时间。”
“最多五天时间,💣📬许董。五天以后,我⛽们就能做流片试验了🆋🍾🍫。”
万⚰🕂宁古和郝宁等人的意见还不统一,一个说要三天多,一个说要五天时间。