“🃨🚗许董,按照目前的情况来看,我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握,并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理和照相机的原理基本一样,都是用曝光🃇🕮🌽来成像。但第三代光刻机的精度非常高,最低可达到00☡18微米。倘若再使用ffet制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要达到🌊♄🅳001微米以下。
由此可以🏚想到,第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高,一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。
胡明镇一边说话,一边指挥着👁🅶李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要,能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性,胡明镇不得不小心行事。
“装配工作什么时间能完成?”
看到李全等人的进度不是很快,许振鸣认为站在这里没啥意思,准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前,他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度表。
“许董,如果一切顺利,我们会在元月28日左右开始试生产,并且🄍用这台光刻机来流片。”胡明镇比🈩较忙,跟许振鸣说了几句,又开始投入工作。
许🃨🚗振鸣见此,拿着一摞用a4纸打印的资料,一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。
“三天🃄内完成设备组装和安装,五天内调试好这台设备,第🇲🜟九天以后开始做试生产的准备嗯,这个计划还算可以。”
许振鸣一边走路一边颔首点头,认为胡明镇的工🍂🅐🅫作做得不错,准备很充分🐨。🖈🐩🂥
不多久,他来到🂪👪4号钢构厂房的另外一个光刻🙀室。
这🃨🚗间光刻室是用来安装国产光刻机😘🁩的生😰🅅🄉产车间。
车间里此时也非常忙碌,万宁古、何昌林和郝宁🍂🅐🅫等人也正在装配第三代光刻机。
他们这边的进度好像要快了许多,激光光路系统的部件已经组装完成🄍,👺🍶光刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会,好像要准备进🖴🖳行光刻机的总装工序。
看到这种情况,许振鸣倒是不理解,👮“老万,你们这边的进度🝜为啥要快一些?♮”
“许董,这台光刻🙀😇机的主要部件我们都已经准备好,就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货,其实根本不要检验其性能。🚮🖮🕻最关键的事情就看光刻机总装以后的效果。
“光刻机的精度主要是受主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精🔍⚼度不够,我们的项目还是没成功。”
说到最后,万宁古的眉毛全都皱了起来。他对这台光刻机主体系统的精度很担心,心里没有十🅄🝟足的把🇸🝖握。
听到这话,许振鸣的🜭🅘心情也好不起来。“你们需要多长时间来准备?”念及此,许振鸣想要知道万🇧🚼宁古等人的总装🖔💔和调试计划。
“三天左右吧。”何昌林扫了一眼现场的情📴🟇况,缓缓说道。
“三天恐怕不行,最少要五天时间。”
“最多五天时间,许董。五天以后,我们就📴🟇能做流片试验了🇲🜟。”
万宁古和郝宁等人的意🙱🎊见还不统一,一个说要三天多,一个说要五天时间。