国产0.8微米工艺集成电路生产线,与其说是为🂽🔑了振兴国家的电子产业,不如说是为了解决🃴有无问题。
在没有市场需求的前提下,仅凭借科研院所和国防工程的订单,中科院微电子中心根本吃不饱。为了开发0.8微米工艺的技术,国家历时三年时间投入了五个亿的资金,才最终完成了整套设备的研发。但向国内供应的设备价格,最贵的光刻机也不过才百万人民币而已。
这条生产线不仅仅是需要解决光刻机的问🎾🖬🕮题,像是等离子刻蚀、气象沉淀设备,这些都是核心设备。此外像是扩散炉、离子源,挑片、举片机,焊接机、镀膜机、清洗机,一块不起眼的集成电路如果想走下生产线,起码要经过上百道工序,历时😔🁈十几、几十个小时不可。
这还只是芯片生产的前道工序,若是再算上封装、测试等后道工序,设备清☵🃳🛷单能再增加几倍的长度。
这些哪怕全部都是国产设🏛备,建设一条集成电路生产线,也至少需要十几亿人民币。
在这样高的投入和稀薄的产出面前,中科院微电子中心的生意可想而知。哪怕是面对☆☮他们认为“大言不惭”的泛翰研究院,只要拿出真金白银来,产品也一样是照卖不误。
从1995年上半年0.8微米工艺技术🎾🖬🕮定型,实际上中科院微电子中心最大的买家,就是泛翰研究院。周硕前前后后下了三条生产线。价值将近一个亿的订单。结果搬空了微电子中心的仓库,也不过才凑齐了一条半生产线🗂😴而已。至于三条线全部配齐。起码也要到1996年了。
但作为国家研究机构,微电子中心仍然是该卖设备卖设备,该骂你一样骂你。没办法,谁叫人家是国内最权威的半导体研发机构。如果从级别上来看,说🎇🏀🗁它是中国半导体学界的武林盟主也不为过……
当然哪怕只是一条生产🄷线,若是日本尼康的产品月产量也能达到三万片。若是荷兰阿斯麦的产品,月产量五万片也毫无问题。但国内技术不论是良品率还是自动化程度,都远远不及这两家。尤其是0.8微米工艺基础上仓促改造而来的0.5微米工艺生产线。良品率更是在原本就不高的产量上跌了一大截。
“周桑,nand闪存的生产相关工艺就是如此了。虽然你们的设备要比我们东芝的差一些,但完成生产流程是没有问题的。”中村晴树翻看了一下相关设备的📽参数设计,肯定的说道。
东芝虽然不怎么看得上这样的小生意,但多少秉持着日本人的谨慎性格,☡🀹还是派来了一个靠谱的技术人员。在中村晴树的指导下,集成电路设计方案直接使用了东芝的技术。掩膜、光刻🞺🙏和扩散、沉降等技术参数经过不断的调试,也都已经准备就绪。
在中村晴树认可之后,周🏛硕🁼也有些兴奋的向光刻机前的麻友公点了点头。
麻友公操作😮🄳🁦着设备,将已经抛光和清洗完🎾🖬🕮毕的晶圆,放入到光刻机中。接下来的工作,就不再是需要人为干预的了。
何况蜂巢实验室作为泛翰研究院的核心实验室。也不方便让中村🆗🏭晴树一🙜🗿个☡🀹日本人呆太久,周硕连忙将他送了出去。
十三个小时之后,完成了🏛八十三道工序的晶圆,经过最后一次清洗终于完成了它的加工历程,安静的躺在了实验🕽台上。📳🞽
此时。蜂巢实验室的十四位研📟究员全部聚集一堂,都围拢在负责测试用的测频仪前面。就像cpu🜉⛸🟋在出厂之前。需要先进行测试一样。芯片在制造过程中,总是难免会出现各种各样的问题,导致一些残次品或者缺陷。这时候,就要通过测频确定它们的质量。
有缺陷的芯片被制造成低频的cp🁰u,通过逻辑屏蔽掉一部分功能,作为低端产品进行出售。而没有缺陷的cpu则以完整的功能,作为高端产品进行出售。所以才会有一些cpu产品通过开核,来获得更好、但更不稳定的性能。
和cpu检测一样,nand内存在封🂾🔘装🎾🖬🕮之前,也需要对其进行测试。不仅要获得其具体的性能数据,也要通过产品的缺陷⛈😟🂬推导制造工艺存在的问题。
一张200的晶圆上,这时表面上已经布满了流光溢彩的花纹。这是通过气象沉淀,附着在晶圆上面的🗵有色金属。这张晶圆上面密密麻麻的分布着30块芯🈓片所需要的集成电路,通过对它们🗙🜅的测试,将可以得到这条0.5微米工艺生产线运作的具体数据。
“合🚦🕬🌯格,合格,🜉⛺不合格,合格,不合格……”
30块芯片的集成电路,不断📟的完成测试。每一次合格,都能激起周围研究员们激动的欢呼🞂👔🈨,每一次不合格,也都能让他们发出沮丧的叹息。
“一共是21块合格的芯🏛片,良品率7🂾🔘0%。”麻友公有些疲惫的把头从仪器前抬起来,如释重负的说道。
70%的良品率,若是放在20年后,根本没有盈利的可能。哪怕是在1995年,也仍然极大的落后于美、日晶圆厂的平均水平。但如果放在国内,和908工程或者其他的国企晶圆厂,这已经是非常了☡🀿不起的进步🈫🁒了。当然,国内的晶圆厂本身运转成本低,再加上产量稀少,倒也不愁卖。像是一些军工方面的晶圆厂,更是不用在乎经济规律这种事情。哪怕30%的良品率,也一样是用不完。